鹵素檢漏儀是指用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)氣體作為示漏氣體的檢漏儀器。該類儀器分兩類：其一為傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內(nèi)探頭式)鹵素檢漏儀；其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)鹵素檢漏儀。示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂屬Z好。鹵素檢漏儀靈敏度可達(dá)3.2×lO-9Pam3／s。
 (1)工作原理與結(jié)構(gòu)
    金屬鉑在800～900oC溫度下會(huì)發(fā)生正離子發(fā)射，當(dāng)遇到鹵素氣體時(shí)，這種發(fā)射會(huì)急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應(yīng)”，利用此效應(yīng)制成了鹵素檢漏儀。
    傳感器是個(gè)二極管，加熱絲、陰極(外筒)、陽(yáng)極(內(nèi)筒)均用鉑材制成。陽(yáng)極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子，被陰極接收的離子流由檢流計(jì)(或放大器)指示出來(lái)，且有音響指示。電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。
(2)性能測(cè)試方法
    靈敏度、反應(yīng)時(shí)間及恢復(fù)時(shí)間是鹵素檢漏儀的主要性能參數(shù)。其測(cè)試方法與氦質(zhì)譜檢漏儀的相同，這里不再贅述。但是，鹵素檢漏儀（SF6檢漏儀）的指示與鹵素氣體的濃度有關(guān)：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當(dāng)濃度很高時(shí)儀器出現(xiàn)飽和或中毒現(xiàn)象。所以在進(jìn)行性能測(cè)試或檢漏時(shí)，進(jìn)入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬(wàn)分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應(yīng)和lO-1～10oPa壓力范圍內(nèi)工作，壓力過(guò)高或過(guò)低都會(huì)導(dǎo)致儀器靈敏度的下降。便攜式鹵素檢漏儀（SF6檢漏儀）的傳感器基本上是在大氣壓下工作的，靠吸氣裝置吸入氣體，使鹵素氣體流經(jīng)傳感器。
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